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真空热处理的优缺点：1、真空热处理模具表面无氧化。二真空除气法。三、除脂肪。四、加工工件无氢脆。硬化工件的变形较小。六真空热处理工艺具有良好的稳定性和重现性。七节能环保，安全可靠。真空化的缺点：1有些合金元素在真空化时蒸发较大。二、设备大。三是生产周期长，真空保温时间一般为盐浴炉的6倍，空气炉的2倍。真空淬火工件模具常见的几种失效形式及解决办法1热处理出真空炉直接开裂2回火出裂纹。

真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段,而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用,特别是工具、模具和精密耦件等。众所周知零件经真空热处理后,畸变小,质量高,且工艺本身操作灵活,无公害。此外,真空加热炉可在较高温度下工作,且工件可以保持洁净的表面,因而能加速化学热处理的吸附和反应过程。因此,某些化学热处理,如渗碳、渗氮、渗铬、渗硼,以及多元共渗都能得到更快、更好的效果。

控制渗碳层的深度、碳浓度以及浓度梯度(硬度梯度)是很容易的。 热处理厂认为由于真空渗碳过程的物理化学反应特点，因而，根据零件的技术条件可简单地通过计算或一些关系曲线确定真空渗碳热处理的工艺参数。生产实践表明，特别对批量生产需以工艺实验来验证和修正计算得来的工艺参数，这一点对要求高的精密重要零件的批量生产是很重要的。生产实践还表明，只要按照通过工艺实验确定的工艺参数进行操作，即可获得各炉很一致的渗碳结果——重现性好。

工件变形小。一般来说，被处理的工件在炉内靠热辐射加热，内外温差较小，热应力小，因此决定了真空热处理工艺处理的零件变形小，一起在真空下加热和在真空下淬火，主动完成，避免了热态下工件在空气中的搬运，削减了人为加工变形，提高了产品合格率。

可削减工件含金元素挥发性。真空热处理能在可控气氛下加热和真空淬火，从而削减了工件含金元素挥发性，保证了工件的热处理质量。